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结合硅单晶过程中热质输运的分析，采用实验和数值分析相结合的方法，以大直径硅单晶为主要研究对象，研究热场结构，控制参数和外加磁场对大直径硅单晶生长的影响。通过数值分析的手段，研究了结构参数和控制参数对晶体生长特性的影响，确定了晶体的工艺条件。

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看这些元件的外表有没有被烧糊，有没有电解液溢出，如果没有发现上述情况，则用万用表测量关管有无击穿短路。需要特别注意的是：切不可在查出某元件损坏时，更换后直接机，这样很有可能由于其它高压元件仍有故障又将更换的元件损坏，一定要对上述电路的所有高压元件进行检查测量后，才能排除丝熔断的故障。本文拟采用有限元分析的方法，对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此，避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现，某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化，造成有效分凝系数的变动，导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀，引起对流情况不稳定，导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约，单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动，又要上升运动，同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。