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发布:2024/4/24 11:26:49 来源:shxj365


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Mo3/2O2=MoO3(气态);

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5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7,根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔,一对电极孔,以及与排气口相对的通气孔,石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa。W3/2O2=WO3(气态)。

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